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| X???г? | 120 | mm |
| Y???г? | 2000 | mm |
| U???г?(??????) | 9000-12000 | mm |
| Z???г? | 100 | mm |
| X??Y??λ???? | ±0.05 | mm/m |
| ?????λ???? | 0.03 | mm |
| XY????? | 80 | m/min |
| U????? | 20 | m/min |
| Z????? | 50 | m/min |
| ?????????? | 2000-4000 | W |
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